仪器名称：：磁控溅射镀膜系统
型号：：FJL450E磁控与离子束复合溅射装备
应用规模：：磁控溅射手艺是使用带电离子在电磁场的作用下，， ，轰击靶物质，， ，被溅射出来的原子以一定的动能射向衬底，， ，在衬底上形成薄膜。�！！４趴亟ι涞奶氐闶�：：对多种质料有用、沉积速率高、低能溅射。�！！�
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