1. 进样系统气体控制::氮气等离子体气20L/min;辅助氮气1.5L/min,,由盘算机控制的电磁阀系统举行气体流量控制;;雾化气气体质量流量控制,,0.3-1.0L/min;; 2. 等离子体爆发系统::引发频率为2450MHz;;等离子体功率牢靠为1KW;; 3. 光学系统::焦距::600毫米,,光栅刻线::2400条/mm;;波长规模为178-780nm;; 4. 特制CCD检测器,,量子效率高达90%,,超高迅速度;;检测器接纳Peliter半导体制冷到0°C,,低暗电流和配景噪音 |